據(jù)悉，中國本土化先進半導(dǎo)體密封材料解決方案供應(yīng)商大金清研（DTAT）受邀參加了 2025 上海國際半導(dǎo)體展覽會（SEMICON China），與眾多科技企業(yè)與行業(yè)領(lǐng) 袖一起，共同分享全球產(chǎn)業(yè)格局、前沿技術(shù)與市場走勢。在展會上，大金清研先進科技（惠州）有限公司展示了其為中國半導(dǎo)體工廠和半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠客戶而打造的一站式解決方案，覆蓋原材料聚合物、混煉膠配方開發(fā)到全氟醚橡膠密封圈O-ring成型生產(chǎn)及應(yīng)用。同時，大金清研首 次展出高性能動態(tài)密封圈新品，將其在半導(dǎo)體領(lǐng)域氟材料應(yīng)用的技術(shù)創(chuàng)新與研發(fā)生產(chǎn)實力悉數(shù)展現(xiàn)。

SEMICON?China?2025-大金清研(DTAT)展臺

SEMICON China2025 覆蓋了芯片設(shè)計、制造、封測、設(shè)備、材料、光伏、顯示等全產(chǎn)業(yè)鏈，從規(guī)模、規(guī)格、影響力以及技術(shù)熱點的覆蓋面來說，此次上海國際半導(dǎo)體展覽會完全稱得上是一場全球半導(dǎo)體盛會。展會為期 3 天，已于 3 月 28 日在上海新國際博覽中心美好收官。

深耕氟化學(xué)領(lǐng)域超二十年的大金集團，產(chǎn)品在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈均有廣泛應(yīng)用。大金清研（DTAT）依托大金集團在氟化學(xué)領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累和行業(yè)洞察，致力于為半導(dǎo)體行業(yè)客戶提供涵蓋從研發(fā)生產(chǎn)到銷售售后的全鏈路氟材料解決方案。例如對于其核心的DUPRA全氟醚橡膠密封圈系列產(chǎn)品，大金清研（DTAT）在確保其高潔凈度等級的同時，通過優(yōu)化原材料配方，成功實現(xiàn)了極低的金屬離子析出，并展現(xiàn)出優(yōu)異的廣譜耐化學(xué)性能，能夠兼容強酸、強堿及有機溶劑（包括復(fù)雜的濕法蝕刻液）。這一創(chuàng)新不僅有效降低了晶圓污染風(fēng)險，還延長了關(guān)鍵耗材的使用壽命，進一步保障了工藝良率的提升。

憑借優(yōu)異的耐熱性能、耐化學(xué)腐蝕性能和耐等離子體性能，大金清研DUPRA系列產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和化學(xué)成套設(shè)備中的密封O型圈、密封墊及緩沖材料等關(guān)鍵部件。 2023 年通過在惠州設(shè)立“智慧工廠”，大金清研（DTAT）實現(xiàn)了DUPRA全氟醚橡膠密封圈的本土化生產(chǎn)，秉持大金集團的高品質(zhì)追求助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

大金清研先進科技（惠州）有限公司“智慧工廠”

在今年的上海國際半導(dǎo)體展覽會上，大金清研（DTAT）不僅重點展出了優(yōu)異的耐高溫性能產(chǎn)品DUPRA全氟醚橡膠密封圈DU551，還帶來了專為半導(dǎo)體制程中的高腐蝕、高PLASMA（等離子體）環(huán)境設(shè)計的DUPRA全氟醚橡膠密封圈DU341。其中高性能動態(tài)密封圈新品DU553 首秀，展位分外吸睛。

DU551、DU553 全氟醚橡膠密封圈能夠在300℃環(huán)境下持續(xù)作業(yè)，并在間歇性運行時承受高達330℃的溫度，充分滿足半導(dǎo)體制造過程中對密封材料的極端耐熱與穩(wěn)定性要求。與此同時，依托大金清研（DTAT）創(chuàng)新的X表面處理工藝，兩款產(chǎn)品均具備自潤滑不粘特性，抗粘附性能較傳統(tǒng)工藝提升33%以上，有效滿足半導(dǎo)體制程中擴散工藝（Diffusion）的防粘需求。在此基礎(chǔ)上，DUPRA全氟醚橡膠密封圈DU553 在動態(tài)應(yīng)用與高負(fù)載工況兩方面展現(xiàn)出更突出的性能優(yōu)勢。一方面，是更低的粘合強度，顯著提升了其在動態(tài)應(yīng)用中的靈活性和抗脫出性。即使在器械結(jié)構(gòu)頻繁開關(guān)的情況下，依然能夠保持穩(wěn)定的密封性能，是氣缸、氣密閥門、隔膜閥等關(guān)鍵部件的理想選擇；另一方面，是更高的硬度和耐摩擦性，能夠承受更高的壓力和溫度波動，提升密封性能的同時延長設(shè)備使用壽命，減少頻繁更換需求，有效降低維護成本。

SEMICON?China?2025-大金清研(DTAT)展臺

DUPRA全氟醚橡膠密封圈DU341 采用高純度有機復(fù)合填料體系，其特有的聚合物交聯(lián)結(jié)構(gòu)使其可在等離子體及腐蝕性氣體中穩(wěn)定運行，特別適用于化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備襯墊、刻蝕工藝（Etch）等嚴(yán)苛應(yīng)用場景。

DUPRA全氟醚橡膠密封圈系列-大金清研(DTAT)展臺

此外，大金清研（DTAT）還首 次展示了與DUPRA全氟醚橡膠密封O型圈配套銷售的中心環(huán)（Center Ring）產(chǎn)品。作為密封O型圈的重要配件，中心環(huán)在確保密封接口定位準(zhǔn)確度方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。由于在客戶端零件組裝過程中，外部接合因素可能導(dǎo)致裝配精度偏差或部件不匹配，為解決這一問題，大金清研（DTAT）推出了金屬環(huán)與全氟醚橡膠O型圈的組合銷售方案，協(xié)助客戶優(yōu)化采購與組裝流程，確保中心環(huán)與O型圈的準(zhǔn)確適配，從而實現(xiàn)理想的密封效果。

DUPRA全氟醚橡膠密封圈及其配套產(chǎn)品中心環(huán)-大金清研(DTAT)展臺

2025 上海國際半導(dǎo)體展覽會雖已落幕，但其對參展展商乃至行業(yè)的影響意義深遠。通過展會上的產(chǎn)品展示、技術(shù)交流和貿(mào)易洽談，為半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展帶來新的動力。期待大金清研（DTAT）攜手更多行業(yè)同仁，持續(xù)創(chuàng)新，為中國半導(dǎo)體國產(chǎn)化發(fā)展做出更多貢獻。

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